日本SMC鋁制高真空L型閥，CJP2B10-5D-B
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;單榮兵/余娟
XL系列鋁高真空角閥低的新法成為可能使用一個(gè)低容量泵和也疏散時(shí)間縮短。
這種閥門不包含等重金屬鎳（鎳）或鉻（）和低鉻濺射產(chǎn)量也可幫助重金屬污染zui小化的半導(dǎo)體器件晶圓。
優(yōu)良的熱傳導(dǎo)性的結(jié)果在均勻溫度為整個(gè)閥體、明顯下降在氣體內(nèi)冷凝閥。
ULTIC裝甲是一個(gè)注冊商標(biāo)的,垂詢。Valqua新日鐵注）尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。
艾凡指標(biāo)/飛行員港口方向象征零AFGJKLM試點(diǎn)港方向指示器沒有指標(biāo)與指標(biāo)沒有指標(biāo)法蘭邊法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對法蘭面左法蘭面后方法蘭面對法蘭面法蘭邊后方法蘭面左法蘭面對法蘭面汽車開關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格（溫度規(guī)格,H2,H3 H0）。標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)聯(lián)線長度是0.5米。
加入“L”的zui后部分3米,是理想的數(shù)量時(shí),“m”時(shí),可達(dá)1米“Z”當(dāng)5米。
例）-M9NL密封材料改變部分和泄漏象征零ABC改變部分沒有是別的東西,而不是“零”（標(biāo)準(zhǔn)）,列表的符號(hào)日本SMC鋁制高真空L型閥開始以緊隨其后的是每個(gè)符號(hào)為“身體表面處理,”
“密封材料”,再選擇“改變分離。”
例）XLA-16-M9NA-XAN1A注2）注1）值在常溫下,不含氣體滲透。
注2）,是指零件數(shù)量的“建構(gòu)”為改變部分14頁。
部件號(hào)碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。
XLC問t y16 M9N一個(gè)你是囊括的鋁高真空角閥雙動(dòng)/波紋管密封XLC/XLCV系列問法蘭尺寸大小162540506380y數(shù)量的汽車開關(guān)/安裝的位置象征零ABC數(shù)量沒有汽車開關(guān)2件。
安裝的位置-閥門開啟和關(guān)閉開啟閥門閥門處于關(guān)閉狀態(tài)注）尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。
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